HM2200-EFEM非接触式霍尔迁移率测试系统
- 产品详情
HM2200-EFEM非接触霍尔测试系统规格说明
1、品牌：九域半导体科技（苏州）有限公司
2、产地：中国●江苏●苏州
3、型号：HM2200
设备由非接触式微波系统和非接触式涡流系统组成，可同时工作。
4、非接触式微波系统规格参数：
规格 | 描述 |
载流子迁移率测试范围 | 100~20000cm2/V-sec |
方块电阻测试范围 | 100-3000Ω/sq |
载流子浓度 | 1E11~1E14 cm-2 |
载流子迁移率动态重复性 | ≤1% |
载流子迁移率测试准确性 | ±10% |
方块电阻测试动态重复性 | ≤1% |
方块电阻测试准确性 | ±10% |
测试样品允许厚度 | 300-1300μm |
测试样片尺寸 | 2” - 8” |
磁感应强度 | 1.0T 不均匀性≤±1% 可反转 |
软件要求 | 自动输出包含Mapping任意设置可>55点）,二维等高线图3D图的报告 |
5、非接触式涡流系统规格参数：
规格 | 描述 |
方块电阻测试范围 | 100-3000Ω/sq |
方块电阻测试动态重复性 | ≤1% |
方块电阻测试准确性 | ±10% |
测试样品允许厚度 | 300-1300μm |
测试样片尺寸 | 2” - 8” |
软件要求 | 自动输出包含Mapping（任意设置可>55点）,二维等高线图3D图的报告 |
探头直径 | 14mm |
6、外观图
7、EFEM说明
晶圆尺寸 | 4寸、6寸 、8寸 | ||||
晶圆机器人规格 | 数量 | 1 | |||
类型 | 真空 | 重复精度 | 负载 | 末端形式 | |
双臂 | -85kPa | <±0.1mm | 1kg | 真空吸取 | |
标准Fork（上下手臂） | F31 | ||||
Load port | 数量 | 2组Open Cassette port口，可对接AGV小车 | |||
RFID Reader | 自动读取扫描Cst的RFID编码 | ||||
Mapper | 数量 | 1组 | |||
实现方式 | 晶圆机械手Mapping | ||||
Aligner | 数量 | 1个（支持4-8寸） | |||
晶圆承载方式 | 真空吸取 | ||||
中心调整精度 | ±0.1mm，角度±0.1° | ||||
OCR | 数量 | 1 | |||
识别类型 | 标准Semi字体 | ||||
整机系统
| 传片精度 | 放置精度≤±0.1mm | |||
角度精度≤±0.15° | |||||
初始化时间 | ≤120sec | ||||
MTBF | >336小时 | ||||
MTTR | <4小时 | ||||
控制系统模式 | 九域开发 | ||||
供电规格 | 1 Phase, AC220V,50/60Hz,20A | ||||
总功率 | 2600W | ||||
真空气源 | -67kPa~-100kPa,10mm quick coupling 60L/min | ||||
EFEM尺寸 | L1470*W1000*H2000 | ||||
协议支持 | 支持SECS/GEM与E84通讯协议 | ||||
