手动电阻率PN厚度测试仪

产品详情

MANUAL RESISTIVITY PN THICKNESS TESTER

手动电阻率PN厚度测试仪

产品描述

桌上型手动电阻率PN厚度量测设备。它运用涡流法、表面光电压法、电容法测试电阻率、PN和厚度，

主要针对半导体及其他材料进行测量，同时根据各种不同的需要，配备了多款不同的测试平台以便供客户选择。

应用

半导体材料、太阳能电池材料(硅、多晶硅、碳化硅等)，新材料、功能材料、导电薄膜(金属、离子等)，

扩散层，硅相关外延材料的样品。

技术参数

重量	35kg
尺寸	460mm（长）×505mm（宽）×205mm（高）
接口	以太网口×1 DB9×1
	电源线接口×1 脚踏开关×1
	开关按钮×1 气源口×1
硅片要求	方片：125mm×125mm，156mm×156mm
	圆片（寸）：4”，5”，6”，8”，12”
	硅片厚度范围：50μm～1000μm
	硅片电阻率范围：0.1Ω·cm～20Ω·cm（电阻率范围可定制）（厚度约180μm）
数据指标
单点及多点厚度	误差 ≤ ±3.00μm
单点及多点厚度	重复性 ≤ ±0.5μm
电阻率	误差 ≤ ±2％
电阻率	重复性 ≤ 0.5％
环境要求
温度	22℃～25℃
湿度	35％～60％RH