电阻率PN温度测试模组(晶圆分选行业)

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RESISTIVITY & PN & TEMP. TEST MODULE

电阻率PN温度测试模组

产品描述

       产品集成方阻（电阻率）、PN型、温度三探头一体式测量，可广泛用于硅片分选机、生产过程分析等光伏及半导体测量领域。

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特点

- 集成电阻率、PN、温度

- 可再次集成厚度探头

- 主要应用于光伏领域


技术参数

参数

                方阻（电阻率）（厚度 约125μm）

探头量程

               8- 2500 Ω/sq（0.1-30 Ω∙cm）可扩展到100Ω∙cm

探头性能

动态重复性

静态重复性

示值误差

测试条件：采样率 250SPS（4ms），60 个点/每次

008-160Ω/sq（0.1- 2 Ω∙cm)   < 0.3%

<0.05%

≤±3%

160-800Ω/sq（2 - 10 Ω∙cm）< 0.5%

<0.1%

≤±3%

800-2500Ω/sq（10 - 30 Ω∙cm）< 0.5 %

<0.2%

≤±3%

外形尺寸

上探头：Ф20×145mm

下探头：Ф20×100mm

控制盒:173×130×55mm

信号采集

采样率：≤1ms，采集数据＞300点

数据接口：RS232    RS485    CAN    TCP/IP

传输协议：Modbus Rtu/ Modbus Tcp、用户自定义 SOCKET 协议等

自动温度补偿系统

原始信号可公开




参数

      PN

外形尺寸

Ф25*99mm

电阻率范围

样品电阻率范围：0.02-3000Ω∙cm

信号采集

采样率：60sps - 1000sps（1ms - 16ms/点），默认4ms


采样数据：最大200个点，默认100点

光源特性

理论寿命> 10年

频率可调：1KHz - 100KHz，可避免机台同频干扰


PN测试原理

        用能量大于半导体材料禁带宽度的单色光照射在半导体材料表面，在其内部产生电子-空穴对，受浓度梯度驱动扩散至半导

体材料近表面空间电荷区的电子和空穴将被自建电场分离，形成光生电压，即表面光电压。

                                       

                                                        N型和P型半导体材料在光诱导下，表面势垒高度的变化过程


与进口***仪器相关性及重复性对比（来源于客户测试）

电阻率探头——相关性系数R2=0.9996


电阻率探头——稳定性


样片1

样片2

进口***九域进口***九域
No.

Ave

Max

Min

Ave

Max

Min

Ave

Max

Min

Ave

Max

Min

1

0.376

0.385

0.312

0.375

0.383

0.318

0.64

0.648

0.542

0.636

0.643

0.547

2

0.377

0.386

0.311

0.375

0.383

0.317

0.64

0.649

0.541

0.636

0.643

0.546

3

0.376

0.386

0.311

0.375

0.384

0.318

0.641

0.647

0.541

0.634

0.642

0.546

4

0.378

0.386

0.314

0.376

0.384

0.319

0.642

0.642

0.542

0.635

0.646

0.542

5

0.377

0.385

0.314

0.375

0.383

0.316

0.639

0.647

0.545

0.635

0.644

0.545

6

0.376

0.382

0.315

0.375

0.383

0.318

0.64

0.649

0.542

0.636

0.645

0.545

7

0.378

0.384

0.311

0.375

0.383

0.317

0.642

0.648

0.543

0.636

0.644

0.545

8

0.378

0.384

0.311

0.375

0.384

0.316

0.641

0.648

0.541

0.635

0.644

0.544

9

0.377

0.382

0.313

0.375

0.384

0.318

0.64

0.647

0.542

0.635

0.643

0.546

10

0.376

0.383

0.313

0.376

0.384

0.318

0.641

0.648

0.545

0.635

0.645

0.544

Rsd

0.232%

0.408%

0.483%

0.112%

0.137%

0.306%

0.151%

0.309%

0.278%

0.106%

0.186%

0.259%

%




0.00%

0.26%

1.60%




-0.94%

-0.46%

-0.18%



样片3

样片4

进口***

九域

进口***九域

No.

Ave

Max

Min

Ave

Max

Min

Ave

Max

Min

Ave

Max

Min

1

1.251

1.285

0.972

1.26

1.271

0.965

2.005

2.011

1.689

1.992

2.002

1.666

2

1.25

1.278

0.971

1.257

1.272

0.968

2.006

2.011

1.687

1.992

2.001

1.654

3

1.251

1.277

0.969

1.256

1.271

0.967

2.001

2.008

1.698

1.993

2.003

1.653

4

1.248

1.287

0.966

1.258

1.268

0.968

2.002

2.015

1.688

1.991

2.005

1.655

5

1.247

1.283

0.964

1.258

1.274

0.962

2.006

2.018

1.687

1.992

2.002

1.665

6

1.252

1.281

0.963

1.258

1.274

0.962

2.004

2.019

1.685

1.997

2.001

1.653

7

1.250

1.282

0.962

1.259

1.271

0.965

2.008

2.021

1.697

1.992

2.009

1.653

8

1.252

1.282

0.964

1.257

1.272

0.960

2.008

2.035

1.683

1.998

2.01

1.658

9

1.252

1.284

0.968

1.256

1.274

0.966

2.009

2.021

1.682

1.996

2.01

1.655

10

1.253

1.277

0.97

1.255

1.271

0.965

2.004

2.022

1.685

1.992

2.008

1.659

Rsd

0.152%

0.266%

0.370%

0.120%

0.147%

0.280%

0.131%

0.381%

0.320%

0.126%

0.189%

0.295%

%




0.16%

-0.47%

-0.52%




-0.60%

-0.69%

-1.54%


光伏探头——稳定性（该产品在光伏领域已成功上市，稳定测试超过20亿片）


高值样品九域测试结果




出厂检测报告