方阻(电阻率)测试仪(片与锭）

产品详情

SQUARE RESISTANCE（RESISTIVITY）

TESTER（CHIPS AND INGOTS）

方阻（电阻率）测试仪（片与锭）

产品描述

设备主要利用涡电流测试原理，非接触测试半导体材料，石墨烯，透明导电膜，碳纳米管，金属等材料的方阻（电阻率）。

可实现单点测试，亦可以实现面扫描的测试功能，可用于材料研发及工艺的监测及质量控制。

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特点

本仪器为非接触，非损伤测试，具有测试速度快，重复性佳，测试敏感性高，可以直接测试产品片。

技术参数

参数	探头	方阻范围	电阻率范围	测试方法
量程	低阻探头	0.005-1 Ω/sq	0.25-50 mΩ·cm	涡流法，非接触式
	中阻探头	0.05-10 Ω/sq	2.5-500 mΩ·cm
	高阻探头	10-3000 Ω/sq	0.5-150 Ω·cm
	锭探头	0.01-2 Ω·cm
重复性	＜ 0.2% ( ≤ 50%量程范围）		＜ 0.5% ( > 50%量程范围）
准确度	＜ ±3% ( ≤ 50%量程范围）		＜ ±3% ( > 50%量程范围）
探头信息	探头类型：双探头（上下探头，间距2 - 3mm）探头直径：外径20mm，内径14mm（有效测试部分）
坐标设置	任意坐标设置
存储数据	数据库内部存储（可导出表格文件） PDF测试报告，含测试信息（时间、操作员）、wafer信息（编号、尺寸、厚度），数据信息（测试点数，最大值，最小值，平均值，相对标准偏差等），等高线图，曲面图等。 CSV表格数据可存储至远端服务器，可根据客户需求修改相关报告信息
WAFER信息	尺寸：2”- 8”（英寸）厚度：100 - 1500 μm
系统要求	供电：AC220V,50/60Hz 功率：600W 环境：温度24℃±10℃ 相对湿度：20%-80%RH 尺寸：975465425(mm) 寿命：> 10年

涡流法原理

当载有交变电流的检测线圈靠近被测导体，由于线圈上交变磁场的作用，被测导体感应出涡流并产生与原磁场方向相反的磁场，

部分抵消原磁场，导致检测线圈电阻和电感变化。

电阻率 = 方阻 × Wafer厚度

方阻和 V 具有关系

电阻率是用来表示物质电阻特性的物理量，是材料本身的电学性质。

适用材料

材料	电阻率	方阻
Silicon wafer	Y	Y
SiC wafer / Ingot	Y	Y
GaO wafer / Ingot	Y	Y
GaN wafer 2DEGI	Y	Y
GaAs 2EDG		Y
IGZO/LTPS/ITO		Y
TCO(Touch panel)		Y
Graphene		Y
Metal film		Y

稳定性

相对标准偏差=0.0150%@中点15次重复性

方阻Mapping55点测试报告

报告时间	2023/10/26 13:51	测试样本数	55
分析时间	2023/10/26 13:47	最大电阻率	0.0232
操作员ID	admin	最小电阻率	0.02277
批次ID	0	平均电阻率	0.02293
样片ID	A-1-55	标准偏差	0.000111
尺寸规格	100mm	相对标准偏差	0.4861%

动态重复性逐点（38点坐标）一致性数据如下(样品面的测量5次)

	一	二	三	四	五	重复性	Max
1	0.12459	0.12466	0.12467	0.12471	0.12472	0.0413%	0.0703%
2	0.12347	0.12351	0.12356	0.12358	0.12362	0.0477%
3	0.12315	0.12321	0.12323	0.12326	0.12329	0.0431%
4	0.12389	0.12398	0.124	0.12402	0.12405	0.0489%
5	0.12421	0.12424	0.12428	0.12438	0.12441	0.0703%
6	0.12396	0.12403	0.12406	0.12408	0.12412	0.0484%
7	0.12387	0.12389	0.12398	0.124	0.12403	0.0566%
8	0.12482	0.12486	0.1249	0.12493	0.12496	0.0444%
9	0.12431	0.12434	0.1244	0.12447	0.12451	0.0679%
10	0.12429	0.12435	0.12438	0.12442	0.12445	0.0500%
11	0.12372	0.12378	0.1238	0.12383	0.12386	0.0429%
12	0.12381	0.12389	0.12392	0.12393	0.12396	0.0462%
13	0.1237	0.12374	0.1238	0.12381	0.12385	0.0481%
14	0.12386	0.12394	0.12396	0.12399	0.12403	0.0512%
15	0.12394	0.124	0.12404	0.12407	0.12409	0.0482%
16	0.12496	0.125	0.12504	0.12507	0.12509	0.0421%
17	0.1245	0.12454	0.12452	0.12464	0.12465	0.0562%
18	0.12414	0.12418	0.12422	0.12425	0.12427	0.0424%
19	0.12392	0.12396	0.124	0.12404	0.12406	0.0462%
20	0.12487	0.12491	0.12496	0.12501	0.12501	0.0495%
21	0.12355	0.1236	0.12363	0.12367	0.12372	0.0526%
22	0.12402	0.12409	0.12412	0.12415	0.12417	0.0473%
23	0.12442	0.12444	0.12453	0.12456	0.12458	0.0578%
24	0.12419	0.12423	0.12428	0.12431	0.12434	0.0486%
25	0.12388	0.12395	0.12396	0.12398	0.12403	0.0438%
26	0.12501	0.12505	0.12509	0.12512	0.12516	0.0468%
27	0.1244	0.12444	0.12453	0.12453	0.12458	0.0592%
28	0.12441	0.12445	0.12452	0.12453	0.12457	0.0519%
29	0.12385	0.12389	0.12393	0.12396	0.124	0.0473%
30	0.12379	0.12383	0.12385	0.12387	0.12392	0.0389%
31	0.12367	0.1237	0.12372	0.12374	0.12381	0.0425%
32	0.12393	0.12397	0.12402	0.12403	0.12409	0.0492%
33	0.12394	0.12396	0.124	0.12405	0.12409	0.0502%
34	0.12506	0.12509	0.12514	0.12519	0.12521	0.0510%
35	0.12449	0.12452	0.12459	0.12465	0.12466	0.0610%
36	0.12423	0.12423	0.12431	0.12434	0.12436	0.0491%
37	0.12382	0.12386	0.12386	0.12392	0.12395	0.0421%
38	0.12494	0.12497	0.12502	0.12508	0.12508	0.0507%

不同阻值稳定性测试如下（1000个数据分统计）

	真实值	静态	动态
稳定性	0.1013	0.05%	0.05%
	0.1596	0.04%	0.04%
	0.2884	0.05%	0.06%
	0.5657	0.07%	0.05%
	0.9746	0.07%	0.08%
	1.5941	0.11%	0.09%
	3.1808	0.16%	0.27%
	16.662	0.48%	0.96%
	56.4	0.03%	0.05%
	180.6	0.10%	0.10%
	264.4	0.10%	0.16%
	573.7	0.28%	0.36%
	750.9	0.34%	0.43%

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