迁移率(霍尔)测试仪
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MOBLITY(HALL)TESTER
迁移率(霍尔）测试仪
产品描述
设备主要利用微波测试原理，非接触式测量射频HEMT结构半导体材料的方阻、迁移率及载流子浓度。可实现单点测试，
亦可以实现面扫描的测试功能，具有快速，无损，准确等优势，可用于材料研发及工艺的监测及质量控制。
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特点
适用于迁移率量测范围在100cm²/V · s～3000cm²/V · s 的射频HEMT外延片。非接触，非损伤测试，具有测试速度快，
重复性佳，测试敏感性高，可以直接测试产品片等优点。
技术参数
规格 | 描述 |
载流子迁移率测试范围 | 100~20000 cm²/V·s |
方块电阻测试范围 | 100-3000 Ω/sq |
载流子浓度 | 1E+11 - 1E+14 |
载流子迁移率动态重复性 | ≤1% |
载流子迁移率静态重复性 | ≤0.5% |
载流子迁移率测试准确性 | ±10% |
方块电阻测试动态重复性 | ≤1% |
方块电阻静态重复性 | ≤1% |
方块电阻测试准确性 | ±10% |
测试样品允许厚度 | 200-1500 μm |
测试样片尺寸 | 2”- 8” |
磁感应强度 | 1.0T可删除可反转 |
软件功能 | 自动输出包含Mapping，二维等高线图3D图的报告 |
自动传送测试能力 | 可选配 |
微波-霍尔法测试半导体方阻及载流子迁移率的原理
原理：
利用微波源发射微波通过波导将微波传输至测试样品表面，在磁场作用下具有不同迁移率的样品对微波的反射效果不同，
通过探测反射的微波功率再将其转化为对应的电导张量，从而建立模型可以计算出HEMT 结构的载流子浓度和迁移率。
微波-霍尔法测试半导体方阻核心算法相关性
对应信号和方阻值得拟合曲线，如下图所示：
迁移率Mapping5点测试报告
报告时间 | 2023/08/17/ 11:43 | 测试样本数 | 5 |
分析时间 | 2023/08/17/ 11:30 | 最大迁移率 | 1852.68 |
操作员ID | admin | 最小迁移率 | 1794.41 |
衬底设置 | test | 平均迁移率 | 1813.35 |
衬底厚度 | 500μm | 标准偏差 | 21.3136 |
尺寸规格 | 100mm | 相对标准偏差 | 1.1754% |